专利名称：一种多扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备专利类型：实用新型专利发明人：沈小宏,赵华
申请号：CN201621246320.6申请日：20161122公开号：CN206649281U公开日：20171117
摘要：本实用新型公开了一种多扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备，属于直写曝光技术领域。本实用新型的多扫描驱动轴固定多棱镜光路直写设备，主要对真空吸盘结构进行了改进，有效解决了生产小板时由于漏气而造成的吸力不足的问题。进一步地，吸盘上的气孔分布为中间疏、四周密，有效杜绝了板子边缘翘起的问题，节省了气孔数量，减少了成本。
申请人：无锡影速半导体科技有限公司
地址：214135 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F3栋
国籍：CN
代理机构：哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司
代理人：耿晓岳
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